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三床熱蓄熱式熱氧化爐（RTO）是一種運行能耗最低、去除率很高的中低濃度有機廢氣治理設備。與傳統的催化燃燒、直燃式熱氧化爐（TO）、兩床蓄熱式氧化爐相比，具有熱效率高（≥95％），運行成本低、能處理大風量低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二次余熱回收，大大降低生產運營成本。
工藝原理
待處理的低溫有機廢氣在入口風機作用下進入蓄熱室A的陶資介質層，（該陶瓷介質已經把上一循環的熱量”貯存”起來），陶瓷釋放熱量溫度降低，而有機廢氣升至較高的溫度之后進入燃燒室。在燃燒室中，燃燒器燃燒燃料放熱，使廢氣升至設定的氧化溫度760℃，廢氣中的有機物被分解成CO2和H2O。由于廢氣經過蓄熱室預熱，廢氣氧化也釋放一定的熱量，所以燃燒器燃料的用量較少，氧化室有兩個作用：一是保證廢氣能達到設定的氧化溫度，二是保證有足夠的停留時間使廢氣充分氧化。
廢氣成為凈化的高溫氣體后離開燃燒室，進入蓄熱室C（上兩個循環陶瓷介質已被冷卻吹掃），釋放熱量，溫度降低后排放，而蓄熱室C的陶瓷吸熱，貯存大量的熱量（用于下個循環加熱使用）。蓄熱室B在這個循環中執行吹掃功能。
完成后，蓄熱室的進氣與出氣閥門進行一次切換，蓄熱室C進氣，蓄熱室B出氣，蓄熱室A吹掃；再下個循環則是蓄熱室B進氣，蓄熱室A出氣，蓄熱室C吹掃，如比不斷地交替進行。當RTO設備還沒達到處理狀態或停運時，廢氣可暫時通過旁通進入煙囪排放。
為了環保節能，在RTO尾部可設置換熱器，進行余熱利用。
工藝流程圖
性能特點
● 幾乎可以處理所有含有機化合物的廢氣
● 可以處理風量大、各種濃度的有機廢氣
● 處理有機廢氣流量的彈性很大（名義流量20％～120％）
● 可以適應有機廢氣中VOC的組成和濃度的變化、波動
● 對廢氣中夾帶少量灰塵、固體顆粒不敏感
● 在所有熱力燃燒凈化法中熱效率最高（＞95％）
● 在合適的廢氣濃度條件下無需添加輔助燃料而實現自供熱操作
● 凈化效率高（三室＞99％）
● 維護工作量少、操作安全可靠
● 有機沉淀物可周期性的清除，蓄熱體可更換
● 整個裝置的壓力損失較小
● 裝置使用壽命長
應用領域
可廣泛用于汽車、車輛、造船、工業產品的噴涂涂裝；
石油、化工、油墨、染料行業；
橡塑、皮革、膠帶、電纜、漆包線、電子、電路板行業；
印刷、包裝、金屬板卷涂線、覆膜線、印鐵制罐、印染行業；
建材、裝飾、家具的涂裝、噴涂行業；
醫藥、食品、添加劑行業。
適用廢氣
● 使用有機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇類、酮類、醚類、酯類、芳烴、苯類等碳氫化合物有機廢氣。
● 有機物低濃度（同時滿足低于25％LFL）、大風量
● 廢氣中含有多種有機成分、或有機成分經常發生變化
● 含有容易使催化劑中毒或活性衰退成分的廢氣
● 不適用于含有較多硅樹脂廢氣
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